發(fā)布時(shí)間：2017-11-05 15:17

  本文關(guān)鍵詞：濺射深度剖析定量分析及其應(yīng)用研究進(jìn)展

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【摘要】：濺射深度剖析技術(shù)已廣泛應(yīng)用于薄膜材料與功能多層膜結(jié)構(gòu)中成分深度分布的表征,但由于其涉及復(fù)雜的濺射過程,樣品形貌的多樣性,探測(cè)信號(hào)來自距樣品表層不同的深度,新濺射技術(shù)的頻出,以及其應(yīng)用范圍不斷的擴(kuò)大,使得深度剖析定量分析的研究方興未艾.本文首先回顧了深度剖析定量分析方法的發(fā)展過程,特別對(duì)其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及為滿足高分辨率深度剖析數(shù)據(jù)的定量分析所進(jìn)行的拓展進(jìn)行了詳細(xì)的論述.給出了利用深度剖析定量分析方法確定深度分辨率、超晶格及分子結(jié)構(gòu)的重構(gòu)、多層膜界面間粗糙度及薄膜中擴(kuò)散系數(shù)的實(shí)例.
【作者單位】： 汕頭大學(xué)理學(xué)院物理系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11274218) 國家自然科學(xué)基金與以色列科學(xué)基金(NSFC-ISF)共同資助的國際交流項(xiàng)目 科技部政府間科技合作交流項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TB302
【正文快照】： 1引言濺射深度剖析已成為表面分析一種常規(guī)的檢測(cè)技術(shù),被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體摻雜、涂層、特殊鋼鐵制造等工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)及質(zhì)量控制,以及物理、化學(xué)、生物、先進(jìn)材料等學(xué)術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究.由于濺射深度剖析實(shí)驗(yàn)涉及到復(fù)雜的濺射過程,樣品的表面形貌,以及探測(cè)信號(hào)的信息深度,，

本文編號(hào)：1144747