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Al 2 O 3 多層膜阻變特性及BaTiO 3 物相分析研究

發(fā)布時間:2024-07-07 01:32
  二十一世紀(jì)是信息化的時代,近年來人們對數(shù)據(jù)存儲性能和數(shù)據(jù)處理能力的需求不斷提高,這促使了半導(dǎo)體集成工藝和技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)和創(chuàng)新,同時也加快了下一代存儲器件的研究進(jìn)度以期能夠打破摩爾定律的限制;谧枳冃(yīng)的存儲器件具有優(yōu)異的數(shù)據(jù)存儲和處理能力以及良好的可延展性和兼容性,有望成為下一代存儲器件。鈣鈦礦氧化物BaTiO3是一種典型的鐵電材料,具有良好的鐵電、壓電性能以及電阻開關(guān)特性。研究表明,由于BaTiO3具有較大的電光系數(shù),其在光電效應(yīng)方面也有潛在的應(yīng)用前景。而同為鈣鈦礦家族的BiFeO3是一類在室溫下具有鐵電性和反鐵磁性的單相多鐵材料,其獨有的特性使它在非易失性阻變存儲器等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。本課題利用實驗室超高真空磁控濺射系統(tǒng)制備了高質(zhì)量的BaTiO3、ITO/Al2O3/BiFeO3/Ag、Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO等薄膜結(jié)構(gòu)?刂坪线m的生長條...

【文章頁數(shù)】:65 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 電阻式隨機(jī)存儲器(ReRAM)
        1.2.1 憶阻器的介紹
        1.2.2 電阻開關(guān)現(xiàn)象
        1.2.3 阻變效應(yīng)形成機(jī)理
    1.3 本論文的研究意義和內(nèi)容
        1.3.1 本論文的研究意義
        1.3.2 本論文的研究內(nèi)容
第二章 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
    2.1 BaTiO3薄膜的制備
    2.2 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
        2.2.1 BaTiO3薄膜的光電特性
        2.2.2 BaTiO3樣品物相分析
    2.3 本章總結(jié)
第三章 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag多層膜阻變特性
    3.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的制備
    3.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的開關(guān)特性研究
        3.2.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開關(guān)特性曲線
        3.2.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開關(guān)機(jī)理解釋
    3.3 本章總結(jié)
第四章 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO多層膜阻變特性
    4.1 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO器件制備
    4.2 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO薄膜的電阻開關(guān)特性
    4.3 本章總結(jié)
第五章 結(jié)論
參考文獻(xiàn)
碩士期間發(fā)表論文情況
致謝



本文編號:4002949

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