Al 2 O 3 多層膜阻變特性及BaTiO 3 物相分析研究
發(fā)布時(shí)間:2024-07-07 01:32
二十一世紀(jì)是信息化的時(shí)代,近年來(lái)人們對(duì)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)性能和數(shù)據(jù)處理能力的需求不斷提高,這促使了半導(dǎo)體集成工藝和技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)和創(chuàng)新,同時(shí)也加快了下一代存儲(chǔ)器件的研究進(jìn)度以期能夠打破摩爾定律的限制。基于阻變效應(yīng)的存儲(chǔ)器件具有優(yōu)異的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和處理能力以及良好的可延展性和兼容性,有望成為下一代存儲(chǔ)器件。鈣鈦礦氧化物BaTiO3是一種典型的鐵電材料,具有良好的鐵電、壓電性能以及電阻開(kāi)關(guān)特性。研究表明,由于BaTiO3具有較大的電光系數(shù),其在光電效應(yīng)方面也有潛在的應(yīng)用前景。而同為鈣鈦礦家族的BiFeO3是一類(lèi)在室溫下具有鐵電性和反鐵磁性的單相多鐵材料,其獨(dú)有的特性使它在非易失性阻變存儲(chǔ)器等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。本課題利用實(shí)驗(yàn)室超高真空磁控濺射系統(tǒng)制備了高質(zhì)量的BaTiO3、ITO/Al2O3/BiFeO3/Ag、Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO等薄膜結(jié)構(gòu)?刂坪线m的生長(zhǎng)條...
【文章頁(yè)數(shù)】:65 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 緒論
1.1 引言
1.2 電阻式隨機(jī)存儲(chǔ)器(ReRAM)
1.2.1 憶阻器的介紹
1.2.2 電阻開(kāi)關(guān)現(xiàn)象
1.2.3 阻變效應(yīng)形成機(jī)理
1.3 本論文的研究意義和內(nèi)容
1.3.1 本論文的研究意義
1.3.2 本論文的研究?jī)?nèi)容
第二章 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
2.1 BaTiO3薄膜的制備
2.2 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
2.2.1 BaTiO3薄膜的光電特性
2.2.2 BaTiO3樣品物相分析
2.3 本章總結(jié)
第三章 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag多層膜阻變特性
3.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的制備
3.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的開(kāi)關(guān)特性研究
3.2.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開(kāi)關(guān)特性曲線
3.2.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開(kāi)關(guān)機(jī)理解釋
3.3 本章總結(jié)
第四章 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO多層膜阻變特性
4.1 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO器件制備
4.2 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO薄膜的電阻開(kāi)關(guān)特性
4.3 本章總結(jié)
第五章 結(jié)論
參考文獻(xiàn)
碩士期間發(fā)表論文情況
致謝
本文編號(hào):4002949
【文章頁(yè)數(shù)】:65 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 緒論
1.1 引言
1.2 電阻式隨機(jī)存儲(chǔ)器(ReRAM)
1.2.1 憶阻器的介紹
1.2.2 電阻開(kāi)關(guān)現(xiàn)象
1.2.3 阻變效應(yīng)形成機(jī)理
1.3 本論文的研究意義和內(nèi)容
1.3.1 本論文的研究意義
1.3.2 本論文的研究?jī)?nèi)容
第二章 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
2.1 BaTiO3薄膜的制備
2.2 BaTiO3薄膜的光電性質(zhì)及其物相分析
2.2.1 BaTiO3薄膜的光電特性
2.2.2 BaTiO3樣品物相分析
2.3 本章總結(jié)
第三章 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag多層膜阻變特性
3.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的制備
3.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜的開(kāi)關(guān)特性研究
3.2.1 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開(kāi)關(guān)特性曲線
3.2.2 ITO/BiFeO3/Al2O3/Ag薄膜電阻開(kāi)關(guān)機(jī)理解釋
3.3 本章總結(jié)
第四章 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO多層膜阻變特性
4.1 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO器件制備
4.2 Si/Pt/Al2O3/BiFeO3/ITO薄膜的電阻開(kāi)關(guān)特性
4.3 本章總結(jié)
第五章 結(jié)論
參考文獻(xiàn)
碩士期間發(fā)表論文情況
致謝
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