發(fā)布時間：2018-12-14 15:23

【摘要】：總控及通訊分系統(tǒng)(MCS)作為浸沒式光刻機中與浸沒液體控制相關(guān)的三個子系統(tǒng)的上位機系統(tǒng),是形成穩(wěn)態(tài)流場,實現(xiàn)浸沒式光刻的重要控制系統(tǒng)。三個被控子系統(tǒng)功能相互獨立,系統(tǒng)運行工序復雜,系統(tǒng)之間耦合度低,控制差異大,加之浸沒式光刻機控制系統(tǒng)的集成化和模塊化程度要求越來越高。為了降低系統(tǒng)設(shè)計的復雜度和實現(xiàn)系統(tǒng)的控制時序設(shè)計,采用系統(tǒng)建模方法簡化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計具有現(xiàn)實意義。本文針對MCS控制系統(tǒng)設(shè)計過程中的兩大問題,提出采用有限狀態(tài)機實現(xiàn)控制系統(tǒng)狀態(tài)化,利用正交法對系統(tǒng)狀態(tài)進行分析,并設(shè)計系統(tǒng)狀態(tài)轉(zhuǎn)移機制實現(xiàn)系統(tǒng)控制時序設(shè)計,利用Stateflow仿真驗證狀態(tài)轉(zhuǎn)移機制的合理性,最后搭建了MCS控制系統(tǒng)運行平臺,通過系統(tǒng)集成運行和測試證明采用有限狀態(tài)機方法能簡化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計的目的。具體工作如下：1、介紹課題研究背景,分析MCS控制系統(tǒng)設(shè)計過程中的兩大問題,提出有限狀態(tài)機理論的解決方法,闡述MCS控制系統(tǒng)設(shè)計的整體方案,并描述系統(tǒng)功能和設(shè)計需求。2、設(shè)計MCS控制系統(tǒng)的硬件方案,對各硬件模塊進行選型分析并搭建MCS控制系統(tǒng)的硬件平臺。3、設(shè)計了MCS控制系統(tǒng)的軟件架構(gòu),利用正交法對系統(tǒng)狀態(tài)進行分析。通過控制流程分析了解系統(tǒng)的時序控制過程,利用UML用例圖和時序圖分析系統(tǒng)的交互。采用有限狀態(tài)機方法建立狀態(tài)轉(zhuǎn)移機制,最后采用Stateflow軟件仿真分析所設(shè)計的狀態(tài)轉(zhuǎn)移機制的合理性。4、集成MCS控制系統(tǒng)的軟硬件平臺,測試系統(tǒng)功能,驗證系統(tǒng)時序控制的有效性,并對采用有限狀態(tài)機理論設(shè)計的時序控制模塊和信號分析模塊進行性能測試。
[Abstract]:As the host computer system of three subsystems related to submerged liquid control, (MCS) is an important control system for the formation of steady flow field and the realization of immersion lithography. The functions of the three controlled subsystems are independent of each other, the operation procedure of the system is complex, the coupling degree between the systems is low, and the control difference is great. In addition, the integration and modularization of the control system of the submerged lithography machine are more and more demanding. In order to reduce the complexity of the system design and realize the control timing design of the system, it is of practical significance to simplify the design of the MCS control system by using the system modeling method. Aiming at the two major problems in the design of MCS control system, this paper proposes a finite state machine (FSM) to realize the state of the control system. The orthogonal method is used to analyze the state of the system, and the system state transition mechanism is designed to design the control sequence of the system. The rationality of the state transition mechanism is verified by Stateflow simulation. Finally, the running platform of the MCS control system is built. It is proved by system integration and test that the design of the MCS control system can be simplified by using the finite state machine method. The specific work is as follows: 1. Introduce the research background, analyze the two problems in the design of MCS control system, put forward the solution of finite state machine theory, expound the overall scheme of MCS control system design. Secondly, the hardware scheme of MCS control system is designed, the hardware platform of each hardware module is selected and analyzed, and the hardware platform of MCS control system is built. 3. The software architecture of MCS control system is designed. The state of the system is analyzed by orthogonal method. The sequence control process of the system is understood by analyzing the control flow, and the interaction of the system is analyzed by using the UML use case diagram and the sequence diagram. The finite state machine method is used to establish the state transition mechanism. Finally, the rationality of the designed state transition mechanism is analyzed by using Stateflow software. Finally, the software and hardware platform of the MCS control system is integrated and the function of the system is tested. The validity of the timing control is verified, and the performance of the timing control module and the signal analysis module designed by the finite state machine theory are tested.
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7;TP273

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本文編號：2378862