a国产,中文字幕久久波多野结衣AV,欧美粗大猛烈老熟妇,女人av天堂

當前位置:主頁 > 科技論文 > 電子信息論文 >

背照式CMOS圖像傳感器的硅減薄濕法刻蝕工藝

發(fā)布時間:2024-07-06 02:45
  針對背照式CMOS圖像傳感器制作工藝,提出了一種采用氫氧化四甲基銨液進行濕法刻蝕的背部硅片減薄工藝。分析了硅減薄工藝的整體流程,針對化學機械研磨后的濕法刻蝕工藝進行了實驗。通過調(diào)整反應時間、硅片轉(zhuǎn)速、噴嘴速度和擺幅,得到最優(yōu)刻蝕參數(shù),使厚度均值達到目標值,平整度控制在一定范圍內(nèi)。該濕法刻蝕工藝中,首先對硅片表面形貌進行修正,接著對硅片進行整體刻蝕,達到目標厚度,最后通過減薄得到BSI背部硅片。采用該硅片制作的圖像傳感器的成像質(zhì)量得到提高。

【文章頁數(shù)】:7 頁

【部分圖文】:

圖1PPD型光電二極管圖像傳感器

圖1PPD型光電二極管圖像傳感器

PPD型光電二極管圖像傳感器的剖面如圖1所示。光從背部入射,經(jīng)過P外延層后,被N埋層吸收,完成光電轉(zhuǎn)換?梢姽獠ㄩL與吸收系數(shù)的關系曲線如圖2所示。圖2可見光波長與吸收系數(shù)的關系曲線


圖2可見光波長與吸收系數(shù)的關系曲線

圖2可見光波長與吸收系數(shù)的關系曲線

圖1PPD型光電二極管圖像傳感器吸收系數(shù)的倒數(shù)為吸收深度[5],紅光的吸收深度最深,藍光、綠光的吸收深度較淺。為了提高量子效率,要求三種光盡量被N埋區(qū)收集。波長最短的藍光的吸收深度為0.454μm。為了保證藍光被更好地吸收,可見光需盡量貼近N埋層入射。因此,根據(jù)N埋層的寬度,....


圖3減薄工藝的整體流程

圖3減薄工藝的整體流程

本文采用300mm<100>硅片進行實驗。制作背照式CMOS圖像傳感器的背部硅減薄工藝的整體流程如圖3所示。1)運用機械研磨,迅速磨掉95%的硅,達到或接近機械研磨工藝中不破片的最小安全厚度[7-8]。2)利用刻蝕液1(氫氟酸、硝酸、醋酸的混合液和硝酸、磷酸、硫酸和氫氟酸的混....


圖4刻蝕液對硅的標準刻蝕速率

圖4刻蝕液對硅的標準刻蝕速率

由于區(qū)域4的刻蝕速率低,需要采用化學機械研磨工藝對區(qū)域4更多地減薄一些厚度。由于區(qū)域1的刻蝕速率基本不變,需要采用化學機械研磨對區(qū)域1打磨平坦。本文濕法刻蝕工藝主要調(diào)節(jié)區(qū)域2和區(qū)域3;瘜W機械研磨工藝穩(wěn)定性較差,導致每個硅片的厚度均勻性較差,硅片表面出現(xiàn)損傷層,硅片翹曲度變大[1....



本文編號:4001938

資料下載
論文發(fā)表

本文鏈接:http://www.wukwdryxk.cn/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/4001938.html

上一篇:飛秒激光加工石墨烯材料及其應用  
下一篇:沒有了

Copyright(c)文論論文網(wǎng)All Rights Reserved | 網(wǎng)站地圖 |

版權申明:資料由用戶e85c3***提供,本站僅收錄摘要或目錄,作者需要刪除請E-mail郵箱bigeng88@qq.com
闽清县| 日本成本人片免费网站| 亚洲av无码一区二区三区性色| 亚洲天堂一区| 欧美激情av| 97人人草| 懂色av色香蕉一区二区蜜桃| 最新超碰| 一本到av| 一区二区三区亚洲精品国| 亚洲欧美日韩| 成人在线黄色| 好吊色| 一区二区高清| 日韩a√| 欧美激情自拍偷拍| 精品无码一区二区三区不卡| 丰满老师引诱我进她身体| 精品无码专区久久久爆乳| 国产无套粉嫩白浆在线观看| 久久精品国产对白国产AV| 亚洲国产精品一区第二页| 中文天堂在线资源www| 亚洲人成网站在线观看69影院| 成人免费777777被爆出| 色偷偷色噜噜狠狠网站30根| 国产亚洲人成网站在线观看| 免费高清a级毛片在线播放| 国产V片在线播放免费无码| 在线看片人成视频免费无遮挡| 无码久久精品国产亚洲AV影片| 久久久精品人妻一区二区三区四 | 久久精品AⅤ无码中文字字幕不卡 国产成人精品日本亚洲专区61 | 日韩人妻中文字幕| 99精品一区| 偷拍99| 国产精品国产三级国产aⅴ中文| 天天综合网天天综合| 亲子乱v一区二区三区免费看| 中文字幕av一区二区三区| 亚洲精品一区二区三区精华液|