發(fā)布時(shí)間：2017-12-31 05:05

  本文關(guān)鍵詞：四極質(zhì)量分析器的幾何量檢測(cè)研究　出處：《制造技術(shù)與機(jī)床》2015年02期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 四極質(zhì)量分析器 幾何量檢測(cè) 質(zhì)量分辨率

【摘要】：四極質(zhì)量分析器是四極質(zhì)譜儀的核心部件之一,其極桿加工及組件裝配精度要求很高。介紹了四極質(zhì)量分析器研制中其部件極桿、陶瓷座的幾何量檢測(cè)內(nèi)容及自研裝置,四極質(zhì)量分析器裝配組件的裝配精度檢測(cè)方法。批量生產(chǎn)的四極質(zhì)量分析器的檢測(cè)結(jié)果表明裝配的綜合精度可以穩(wěn)定達(dá)到3μm以?xún)?nèi),幾何量的檢測(cè)滿(mǎn)足實(shí)際要求,質(zhì)譜測(cè)試的分辨率達(dá)到1 500以上,性能達(dá)進(jìn)口四極質(zhì)量分析器水平。
[Abstract]:The four - pole mass analyzer is one of the core parts of the quadrupole mass spectrometer , and its pole - pole machining and assembly accuracy requirements are very high . The results of the four - pole mass analyzer are introduced in this paper . The results of the four - pole mass analyzer show that the integrated precision can be stabilized to within 3 渭m , and the resolution of the mass spectrometer can reach more than 1,500 , and the performance can reach the level of the imported quadrupole mass analyzer .

【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所;
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)資金資助(2011YQ130043)
【分類(lèi)號(hào)】：TH843
【正文快照】： 四極桿質(zhì)譜計(jì)是目前最成熟、應(yīng)用最廣泛的小型質(zhì)譜計(jì)之一,四極質(zhì)量分析器是其核心部件。在高質(zhì)量數(shù)處達(dá)到高分辨率是四極質(zhì)量分析器制造技術(shù)水平的重要標(biāo)志,我國(guó)早在上世紀(jì)60年代就已開(kāi)始研制四極質(zhì)譜計(jì),70年代推出商品化儀器,但直到現(xiàn)在,國(guó)產(chǎn)儀器一直停留在低分辨率應(yīng)用上,最

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本文編號(hào)：1358252