發(fā)布時間：2024-05-16 21:24

　　作為光學系統(tǒng)中重要的組成部分之一,熔石英光學元件對于光路系統(tǒng)的正常使用具有至關重要的作用。熔石英材料在加工成為光學元件的過程中,會受到加工工具的影響,在其表面留下不同參數(shù)的納結構。這些結構的存在,使得環(huán)境中的雜質(zhì)分子極易吸附于其中,難以清洗。在高真空、強輻射的極端工作環(huán)境中,存在雜質(zhì)的區(qū)域溫度會急劇升高,以致表面產(chǎn)生局部爆裂性損傷,這使光學系統(tǒng)的工作效率下降,壽命降低,成本升高。故對熔石英材料加工后的表面污染物的吸附特性及其機理的研究是十分必要的。首先,本文對分子動力學仿真中系綜的選擇和勢函數(shù)的選取進行了闡述,闡明了熔石英材料加工的建模過程,并對比本文仿真結果與文獻結果,誤差在合理范圍內(nèi),在一定程度上確認了本文仿真結果的可靠性。從切削力和能量、原子運動、表面形成和切屑形成機理幾個方面介紹納米切削的特點,并對比分析了傳統(tǒng)加工與納米加工的區(qū)別。其次,通過分子動力學軟件建立了納米切削模型,研究了納米切削機理。發(fā)現(xiàn)在納米切削后,原子聚集態(tài)的變化是加工參數(shù)對加工過程產(chǎn)生影響的本質(zhì)原因。分析的參數(shù)為刀具形狀、加工速度、加工深度和基底固定方式。借助Delphi軟件計算出加工過程中系統(tǒng)的溫度分布云圖后...

【文章頁數(shù)】：96 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1激光照射下石英玻璃亞表面微裂紋誘發(fā)的激光損傷

哈爾濱工業(yè)大學工學碩士學位論文件也是激光核聚變光路系統(tǒng)中較為危險的環(huán)節(jié)，極容易產(chǎn)生各種問題[2,3]。光學元件的維修成本較高，使之成為亟待解決的問題。在熔石英光學元件的制造過程中，受到制造工藝、加工介質(zhì)（如切削液、拋光液等）與清洗介質(zhì)（清洗液）等的影響，污染物會滲入到元件內(nèi)部，造....

圖1-2使用KrF激光對熔石英進行LIBWE的示意圖

哈爾濱工業(yè)大學工學碩士學位論文imura等人使用激光等離子體軟X射線對二氧化硅玻玻璃板上構造間隔為53nm和70nm的線和空間結構為10nm左右的LPSXs照射獲得寬高比為1，最窄處教授提出了可使用大氣等離子體對熔石英材料進行加種特種加工方法，具有不與材料....

圖1-3不同速度下的皮秒加工熔石英的痕跡

[14]。圖1-2使用KrF激光對熔石英進行LIBWE的示意人對8ps激光脈沖和600fs激光脈沖加工熔石發(fā)現(xiàn)，皮秒激光加工由于在應力區(qū)域可能產(chǎn)于熔石英光學元件的批量生產(chǎn)。此外，其也料造成的影響進行了分析[15]。S.Karimelahi重復率皮秒激光在熔石....

圖1-4表面不同納結構參數(shù)下水滴的接觸角

最早對潤濕性進行研究的是R.Wenzel，他對固體表面的潤濕性進行了啟發(fā)研究，明確提出固體表面潤濕性與表面粗糙度緊密相關，并且通過實驗證明性的變化往往與表面污染物的存在息息相關，并提出接觸角測量的優(yōu)點，即面機械特性及不均勻性無關[19]。A.Cassie和S.Baxt....

本文編號：3974929