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  本文關(guān)鍵詞：浸沒流場縫隙控制技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《浙江大學(xué)》 2015年

浸沒流場縫隙控制技術(shù)研究

邵杰杰  

【摘要】：本論文對浸沒式光刻中浸沒縫隙控制技術(shù)進(jìn)行了研究。首先對浸沒控制單元的位姿調(diào)節(jié)需求進(jìn)行了分析,將“空間-平面”型并聯(lián)機(jī)構(gòu)作為浸沒式光刻機(jī)中主要的位姿調(diào)節(jié)和檢測模型。分析了3-PSP型、3-PSR-O型和3-P(PH)型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的位置正逆解。其次,在位置正逆解的基礎(chǔ)上,分別對3-PSP型、3-PSR-O型的特征邊界進(jìn)行了分析。從并聯(lián)機(jī)構(gòu)工作空間邊界的形成機(jī)理入手,提出了一種基于特征邊界和布爾運算的工作空間分析方法,并將該方法用于“空間-平面”型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的工作空間分析。再次,將混合串并聯(lián)機(jī)構(gòu)應(yīng)用于浸沒控制單元位姿的調(diào)節(jié)和縫隙參數(shù)的檢測,分別建立起3-PSP-P(PH)·型和3-PSR-O-P(PH)型混合串并聯(lián)機(jī)構(gòu)的位置正逆解模型,實現(xiàn)了浸沒控制單元的3自由度位姿調(diào)節(jié)和縫隙參數(shù)的非接觸高精密檢測。最后,提出了一種基于混合串并聯(lián)機(jī)構(gòu)位置正逆解的反饋控制模型,并采用改進(jìn)的小生境遺傳算法對分支驅(qū)動模塊進(jìn)行控制尋優(yōu),分別通過仿真和試驗樣機(jī)驗證了控制模型的有效性。課題的主要研究工作如下：1.分析了浸沒式光刻機(jī)中為了維持浸沒流場縫隙穩(wěn)定而對浸沒控制單元位姿調(diào)節(jié)所提出的需求,并研究了一類“空間一平面”型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的位置正逆解問題�！翱臻g一平面”型并聯(lián)機(jī)構(gòu)包括已有的3{SP型并聯(lián)機(jī)構(gòu)以及本文所新提出的3-PSR-O型和3-P(PH)型3自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)。作為并聯(lián)機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ),三種并聯(lián)機(jī)構(gòu)的位置正逆解都被分別進(jìn)行推導(dǎo)分析。通過選擇合適的幾何約束關(guān)系,獲得了耦合參數(shù)模式下3七SP型并聯(lián)機(jī)構(gòu)位置正逆解的解析表達(dá)式。通過平面等效和引入三維射影空間的方式,獲得了耦合參數(shù)模式下3{SR-O型并聯(lián)機(jī)構(gòu)位置正逆解的封閉解。分析了3-PSR-O型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的6種可能位形和它們之間的對偶關(guān)系�；�于3-P(PH)型并聯(lián)機(jī)構(gòu)提出了“空間-平面”型3自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)的位置正逆解的快速算法。2.提出了一種基于特征邊界和布爾運算的工作空間分析方法。3-P(PH)型并聯(lián)機(jī)構(gòu)具有最大的工作空間,該空間也是具有相同移動副布置和行程的“空間-平面”型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)工作空間。在位置正逆解分析的基礎(chǔ)上,采用一階影響系數(shù)矩陣分析了3-PSP型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的奇異位形。采用幾何約束法分析了3-PSR-O型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的6種奇異位型,分別獲得了它們在特征平面上的特征邊界。通過將特征邊界沿軸線切割基礎(chǔ)工作空間的方式將基礎(chǔ)工作空間分割為可達(dá)工作空間和不可達(dá)工作空間。該方法不但形象地給出了通過優(yōu)化運動平面上的結(jié)構(gòu)來繼續(xù)增大工作空間范圍的潛力,而且具有更高的效率和精度。3.改進(jìn)了一種基于模式搜索的小生境遺傳算法。從小生境分類,個體生成和局部搜索效率三個方面對遺傳算法進(jìn)行了優(yōu)化。通過對實數(shù)型基因的無量綱化避免了由于實際參數(shù)量綱不同導(dǎo)致的距離分歧,并采用共谷判定方法,避免了對小生境半徑估計的依賴；通過引入懲罰函數(shù)對新生成的個體進(jìn)行篩選,降低了對已搜索空間進(jìn)行重復(fù)搜索的概率；通過模式搜索與遺傳算法相結(jié)合的方式增強(qiáng)了小生境內(nèi)的局部搜索能力。這三方面的改進(jìn),使得在對多峰函數(shù)和復(fù)雜黑箱進(jìn)行尋優(yōu)搜索時,得到全局最優(yōu)解的效率和概率都更高。4.將混合串并聯(lián)機(jī)構(gòu)應(yīng)用于浸沒控制單元位姿的調(diào)節(jié)和縫隙參數(shù)的檢測,實現(xiàn)了浸沒控制單元的3自由度位姿調(diào)節(jié)和縫隙參數(shù)的非接觸高精密同時檢測,并提出了一種基于混合串并聯(lián)機(jī)構(gòu)位置正逆解的反饋控制模型。通過改進(jìn)的模式搜索小生境遺傳算法對分支驅(qū)動模塊的PID控制參數(shù)進(jìn)行尋優(yōu)獲得了較好的控制效果。從基于SimMechanics的浸沒控制單元位姿調(diào)節(jié)跟隨仿真和實際物理樣機(jī)試驗兩方面對控制模型的效果進(jìn)行驗證。仿真和試驗結(jié)果均顯示該控制模型具有較好的控制效果,滿足浸沒單元的正常工作時所需的縫隙參數(shù)要求。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級別】：博士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7
【目錄】：

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【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 金小兵;李小平;陳飛彪;李志丹;肖可云;;硅片調(diào)焦調(diào)平測量系統(tǒng)測試平臺[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2006年10期

2 項國波;控制論的發(fā)展[J];電氣時代;2005年11期

3 陳燕平;余飛鴻;;薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的主要測試方法[J];光學(xué)儀器;2006年06期

4 楊斌久;蔡光起;羅繼曼;朱春霞;;少自由度并聯(lián)機(jī)器人的研究現(xiàn)狀[J];機(jī)床與液壓;2006年05期

5 黃真,李秦川;少自由度并聯(lián)機(jī)器人機(jī)構(gòu)的型綜合原理[J];中國科學(xué)E輯:技術(shù)科學(xué);2003年09期

6 袁瓊雁;王向朝;施偉杰;李小平;;浸沒式光刻技術(shù)的研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2006年08期

7 肖理慶;邵曉根;張亮;石天明;;利用改進(jìn)遺傳算法優(yōu)化PID參數(shù)[J];計算機(jī)工程與應(yīng)用;2010年01期

8 郝曉麗;謝克明;;基于小生境技術(shù)和聚類分析的人工免疫算法[J];計算機(jī)科學(xué);2007年09期

9 張巍;盧宇清;;基于在線自適應(yīng)遺傳算法的PID參數(shù)整定和優(yōu)化[J];計算機(jī)仿真;2011年12期

10 秦國經(jīng);任慶昌;;基于遺傳算法尋優(yōu)的PID控制與仿真[J];中國西部科技;2011年11期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 陳文昱;浸沒式光刻中浸液控制單元的液體供給及密封研究[D];浙江大學(xué);2010年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 孫紅艷;改進(jìn)的小生境遺傳聚類算法應(yīng)用研究[D];遼寧工程技術(shù)大學(xué);2010年

2 張用;遺傳算法PID控制在AUV運動控制中的應(yīng)用[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

3 朱振華;3-PRR平面并聯(lián)機(jī)器人運動控制研究[D];江蘇科技大學(xué);2010年

4 謝天夫;基于改進(jìn)小生境遺傳算法的配網(wǎng)無功優(yōu)化研究[D];東北大學(xué);2010年

5 武振華;3-RPR三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)的性能研究[D];中北大學(xué);2013年

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 吳大宏,趙人達(dá);基于遺傳算法與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的橋梁結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測系統(tǒng)研究初探[J];四川建筑科學(xué)研究;2002年03期

2 張安勤;數(shù)據(jù)挖掘與進(jìn)化算法[J];安徽教育學(xué)院學(xué)報;2002年03期

3 程家興,陳萬里;列車控制問題的計算分析及自適應(yīng)算法[J];安徽大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2002年02期

4 蔣中;遺傳算法在PID參數(shù)優(yōu)化中的應(yīng)用[J];安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2000年01期

5 阮懷忠,張建中;基于改進(jìn)遺傳算法的TSP問題求解[J];安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2003年04期

6 陳杰,周冬華;浮點數(shù)編碼的遺傳算法在模糊控制器參數(shù)尋優(yōu)中的應(yīng)用[J];安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2004年02期

7 方潛生;硬件進(jìn)化(EHW)的研究與進(jìn)展[J];安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2004年06期

8 楊益;;基于FPGA的背包問題的求解[J];安徽建筑工業(yè)學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2010年04期

9 劉艷華;張承中;王小平;龔葳;;基于遺傳神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的采暖季PM_(10)濃度預(yù)測[J];安徽農(nóng)業(yè)科學(xué);2009年16期

10 葉勇;羅紅恩;張立偉;;改進(jìn)遺傳算法下的畜禽冷鏈配送優(yōu)化研究[J];安徽農(nóng)業(yè)科學(xué);2011年17期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙揚鋒;煤巖變形破裂電荷感應(yīng)規(guī)律的研究[D];遼寧工程技術(shù)大學(xué);2010年

2 時長江;豆科類雜草種子圖像識別系統(tǒng)研究[D];中國海洋大學(xué);2009年

3 韓艷玲;可能性構(gòu)造空間理論與計算機(jī)作曲思維模型研究[D];華中科技大學(xué);2010年

4 彭北青;第三方物流配送車輛路徑問題模型及算法研究[D];華中科技大學(xué);2009年

5 黃林峰;多目標(biāo)進(jìn)化算法研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2009年

6 劉飛;四足機(jī)器人步態(tài)規(guī)劃與平衡控制研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

7 鄭罡;頻域有限差分方法的改進(jìn)研究[D];電子科技大學(xué);2010年

8 車勇;輪胎噪聲的預(yù)測方法與試驗研究及優(yōu)化設(shè)計[D];武漢理工大學(xué);2010年

9 李正軍;林—漿—紙產(chǎn)業(yè)集群供應(yīng)鏈協(xié)同管理研究[D];中南林業(yè)科技大學(xué);2010年

10 殷源;干涉型集成光波導(dǎo)器件設(shè)計與實驗研究[D];浙江大學(xué);2010年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 赫英毅;毫米波段基于TE_（21）模差網(wǎng)絡(luò)設(shè)計[D];中國工程物理研究院;2009年

2 萬成;動態(tài)環(huán)境下的元胞遺傳算法研究[D];南昌航空大學(xué);2010年

3 李坤;參數(shù)參與進(jìn)化的自適應(yīng)遺傳算法研究[D];南昌航空大學(xué);2010年

4 吳香庭;基于遺傳算法的K-means聚類方法的研究[D];山東科技大學(xué);2010年

5 王輝;基于改進(jìn)遺傳算法的物流配送路徑優(yōu)化研究[D];山東科技大學(xué);2010年

6 紀(jì)二云;基于改進(jìn)遺傳算法的電力系統(tǒng)無功優(yōu)化的研究[D];山東科技大學(xué);2010年

7 施曉坤;煤炭企業(yè)人才結(jié)構(gòu)優(yōu)化[D];山東科技大學(xué);2010年

8 馬宗梅;遺傳算法在考試系統(tǒng)組卷中的應(yīng)用與研究[D];鄭州大學(xué);2009年

9 趙進(jìn)科;正交三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)動力學(xué)分析[D];鄭州大學(xué);2010年

10 宋開勝;基于遺傳算法的二維排樣研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 姚漢民,劉業(yè)異;21世紀(jì)微電子光刻技術(shù)[J];半導(dǎo)體技術(shù);2001年10期

2 王振宇;成立;�？�;李嵐;;電子束曝光技術(shù)及其應(yīng)用綜述[J];半導(dǎo)體技術(shù);2006年06期

3 徐曉東;汪輝;;亞65nm及以下節(jié)點的光刻技術(shù)[J];半導(dǎo)體技術(shù);2007年11期

4 翁壽松;90nm工藝及其相關(guān)技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2003年04期

5 黃昔光;何廣平;譚曉蘭;袁俊杰;崔桂芝;;并聯(lián)機(jī)器人機(jī)構(gòu)研究現(xiàn)狀分析[J];北方工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2009年03期

6 宋洪法,靳其兵,趙梅;基于改進(jìn)遺傳算法的PID參數(shù)整定策略[J];北京化工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2005年02期

7 劉惠林,張同莊,丁洪生;3-RPR平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)正解的吳方法[J];北京理工大學(xué)學(xué)報;2000年05期

8 黃聰明,陳湘秀;小生境遺傳算法的改進(jìn)[J];北京理工大學(xué)學(xué)報;2004年08期

9 王智學(xué);邊信黔;王奎民;劉云霞;;近壁面水動力干擾下的AUV運動控制研究[J];船舶工程;2006年05期

10 郟宣耀;王芳;;一種改進(jìn)的小生境遺傳算法[J];重慶郵電學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2005年06期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 王洪瑞;液壓六自由度并聯(lián)機(jī)器人運動控制研究[D];燕山大學(xué);2003年

2 張錦;激光干涉光刻技術(shù)[D];四川大學(xué);2003年

3 周任軍;電力系統(tǒng)無功電壓控制中的改進(jìn)優(yōu)化方法研究[D];華中科技大學(xué);2005年

4 吳孟麗;一種新型三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)的設(shè)計理論與方法[D];天津大學(xué);2007年

5 張帆;并聯(lián)機(jī)構(gòu)特性分析與綜合研究[D];東華大學(xué);2008年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 郭大杰;3-PRRRR移動并聯(lián)機(jī)構(gòu)自由度、約束奇異和運動學(xué)分析[D];浙江理工大學(xué);2010年

2 張昆;基于遺傳算法的城市配電網(wǎng)無功綜合優(yōu)化[D];華北電力大學(xué);2001年

3 趙慶亮;五自由度關(guān)節(jié)式機(jī)器人控制系統(tǒng)的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2003年

4 劉方;電力系統(tǒng)動態(tài)無功優(yōu)化模型及混合算法的研究[D];重慶大學(xué);2003年

5 程軍;六自由度關(guān)節(jié)型機(jī)器人本體設(shè)計和控制系統(tǒng)的研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2004年

6 翟立奎;浸沒光刻液體傳送及控制系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2006年

7 趙保才;基于遺傳算法的魯棒PID設(shè)計[D];天津大學(xué);2006年

8 金微;基于遺傳算法的k-means聚類方法的研究[D];河海大學(xué);2007年

9 李嵩;少自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)基本型的分析與綜合[D];重慶大學(xué);2007年

10 陸林花;聚類算法及其在污水處理工藝故障診斷中的應(yīng)用研究[D];重慶大學(xué);2007年

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 馬履中,王勁松,楊啟志,尹小琴,沈惠平,謝俊;基于一種新型并聯(lián)機(jī)構(gòu)的中醫(yī)推拿機(jī)器人[J];中國機(jī)械工程;2004年16期

2 叢爽,張耀欣;線性矩陣不等式在并聯(lián)機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用[J];機(jī)械設(shè)計與研究;2005年03期

3 吳軍;李鐵民;唐曉強(qiáng);;平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)的殘余振動控制[J];機(jī)械工程學(xué)報;2006年11期

4 牛祿峰;;利用特征列方法求解并聯(lián)機(jī)構(gòu)位置正解[J];機(jī)械設(shè)計;2007年08期

5 朱建國;;并聯(lián)機(jī)構(gòu)的研究[J];科協(xié)論壇(下半月);2010年09期

6 彭忠琦;;并聯(lián)機(jī)構(gòu)的發(fā)展及應(yīng)用[J];光機(jī)電信息;2011年12期

7 孫永生;韓先國;陳五一;熊俊;張毅剛;;并聯(lián)機(jī)構(gòu)大范圍收斂高效正解法[J];計算機(jī)集成制造系統(tǒng);2012年05期

8 王南;高鵬;崔國華;郝麗紅;;兩種并聯(lián)機(jī)構(gòu)的靜剛度及有限元分析[J];河北工程大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2013年01期

9 趙永生;許允斗;姚建濤;金林茹;;一種過約束并聯(lián)機(jī)構(gòu)受力分析的方法[J];中國機(jī)械工程;2014年06期

10 于靖軍,趙鐵石,畢樹生,宗光華,黃真;三維平動并聯(lián)機(jī)構(gòu)型綜合研究[J];自然科學(xué)進(jìn)展;2003年08期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 蘇軍輝;黃玉美;高峰;;抓取機(jī)器人的并聯(lián)機(jī)構(gòu)剛度解析[A];制造技術(shù)自動化學(xué)術(shù)會議論文集[C];2002年

2 楊東超;楊向東;劉莉;陳懇;;并聯(lián)機(jī)構(gòu)的可驅(qū)動性研究[A];2007年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2007年

3 張義鳳;姚郁;;六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)驅(qū)動速度性能優(yōu)化設(shè)計[A];中國系統(tǒng)仿真學(xué)會第五次全國會員代表大會暨2006年全國學(xué)術(shù)年會論文集[C];2006年

4 孟飛;;極限邊界搜索實現(xiàn)的并聯(lián)機(jī)構(gòu)工作空間分析[A];先進(jìn)制造技術(shù)論壇暨第五屆制造業(yè)自動化與信息化技術(shù)交流會論文集[C];2006年

5 范彩霞;劉宏昭;;雙驅(qū)動五自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)型綜合[A];第9屆中國機(jī)構(gòu)與機(jī)器科學(xué)應(yīng)用國際會議（CCAMMS 2011）暨中國輕工機(jī)械協(xié)會科技研討會論文集[C];2011年

6 董培濤;吳學(xué)忠;;平面二自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)工作空間分析的新方法[A];面向21世紀(jì)的生產(chǎn)工程——2001年“面向21世紀(jì)的生產(chǎn)工程”學(xué)術(shù)會議暨企業(yè)生產(chǎn)工程與產(chǎn)品創(chuàng)新專題研討會論文集[C];2001年

7 劉治志;羅玉峰;石志新;楊廷力;;一種平面三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)動力學(xué)分析的序單開鏈法[A];第十一屆全國非線性振動學(xué)術(shù)會議暨第八屆全國非線性動力學(xué)和運動穩(wěn)定性學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2007年

8 榮輝;丁洪生;張同莊;;一種空間三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)的震動力平衡[A];第十三屆全國機(jī)構(gòu)學(xué)學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2002年

9 王昕;李澤湘;;冗余驅(qū)動并聯(lián)機(jī)構(gòu)的運動控制分析與應(yīng)用[A];第二十二屆中國控制會議論文集（下）[C];2003年

10 宋方臻;宋波;;平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)與磁懸浮控制電主軸耦合系統(tǒng)的瞬態(tài)響應(yīng)分析[A];中國自動化學(xué)會控制理論專業(yè)委員會A卷[C];2011年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 毛秉毅;閉環(huán)和并聯(lián)機(jī)構(gòu)拓?fù)渑邎D理論與應(yīng)用[D];燕山大學(xué);2015年

2 邵杰杰;浸沒流場縫隙控制技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2015年

3 丁建;六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)精度分析及其綜合方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

4 張帆;并聯(lián)機(jī)構(gòu)特性分析與綜合研究[D];東華大學(xué);2008年

5 張彥斌;少自由度無奇異完全各向同性并聯(lián)機(jī)構(gòu)型綜合理論研究[D];西安理工大學(xué);2008年

6 姚蕊;大跨度索并聯(lián)機(jī)構(gòu)力特性及尺度綜合設(shè)計研究[D];清華大學(xué);2010年

7 鄭亞青;繩牽引并聯(lián)機(jī)構(gòu)若干關(guān)鍵理論問題及其在風(fēng)洞支撐系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[D];華僑大學(xué);2004年

8 張勇;可約并聯(lián)機(jī)構(gòu)設(shè)計理論與方法研究[D];燕山大學(xué);2006年

9 程世利;并聯(lián)機(jī)構(gòu)若干基本問題的研究[D];南京航空航天大學(xué);2011年

10 郝齊;一種兩自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計及動力學(xué)控制研究[D];清華大學(xué);2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙世培;并聯(lián)機(jī)構(gòu)的人機(jī)交互式裝配實現(xiàn)及運動性能自動分析[D];燕山大學(xué);2015年

2 何勇;面向車載設(shè)備的多維激振平臺系統(tǒng)研制[D];燕山大學(xué);2015年

3 郭萌萌;重力作用下被動過約束并聯(lián)機(jī)構(gòu)受力與虛擬仿真分析[D];燕山大學(xué);2015年

4 盧芹芹;三維平移并聯(lián)機(jī)構(gòu)型綜合與性能分析[D];燕山大學(xué);2015年

5 蘇永林;基于解耦并聯(lián)機(jī)構(gòu)的推拿機(jī)器人設(shè)計與研究[D];燕山大學(xué);2015年

6 楊超;直線驅(qū)動的球面并聯(lián)機(jī)構(gòu)控制技術(shù)研究[D];河北聯(lián)合大學(xué);2014年

7 宮玉鳳;一種一轉(zhuǎn)四移驅(qū)動五自由度并聯(lián)機(jī)器人的理論研究[D];燕山大學(xué);2015年

8 周莎莎;少自由度過約束并聯(lián)機(jī)構(gòu)研究[D];河北工程大學(xué);2015年

9 吳靜;被動鉸為球鉸的二自由度平移并聯(lián)機(jī)構(gòu)的分析與設(shè)計[D];南京理工大學(xué);2015年

10 果金龍;C形龍門架并聯(lián)銑床剛度與動態(tài)特性研究[D];南京理工大學(xué);2015年

  本文關(guān)鍵詞：浸沒流場縫隙控制技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號：182341