發(fā)布時間：2018-01-02 10:31

  本文關(guān)鍵詞：環(huán)形靜電排斥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器微光機(jī)電系統(tǒng)微鏡　出處：《強(qiáng)激光與粒子束》2016年06期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 微光機(jī)電系統(tǒng) 微鏡 表面工藝 靜電排斥 環(huán)形驅(qū)動器 旋轉(zhuǎn)角

【摘要】：微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)微鏡在激光顯示、光束掃描、自適應(yīng)光學(xué)等領(lǐng)域都有重要應(yīng)用�，F(xiàn)有的MOEMS微鏡驅(qū)動器一般為靜電吸引型,難以克服其吸合效應(yīng)造成的各種問題,同時,方形的驅(qū)動器難以與圓形的鏡面形成良好匹配,填充比較低。提出了一種環(huán)形靜電排斥驅(qū)動器的MOEMS微鏡,該靜電排斥驅(qū)動器以環(huán)形排列,并圍繞在鏡面的周圍,達(dá)到了與圓形鏡面的良好匹配。所設(shè)計的微鏡口徑為204μm,并利用PolyMUMPS表面工藝進(jìn)行加工。模擬仿真及實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果顯示,該微鏡具有0.62°的最大旋轉(zhuǎn)角,494μs的響應(yīng)時間和1.191kHz的工作帶寬,適用于一般光束掃描等的應(yīng)用需求。
[Abstract]:Micro electro mechanical system (MOEMS) micro mirror in laser display, beam scanning, adaptive optics field have important applications. The existing MOEMS micro mirror driver general electrostatic attraction type, and a variety of problems, to overcome the attraction effect caused by the square and circular mirror drive to form a good match, filling is relatively low. A annular electrostatic repulsion driver MOEMS micro mirror, the electrostatic repulsion driver in an annular array around the mirror, and around, to achieve good matching with the circular mirror. The design of the micro mirror is 204 m, and processed by PolyMUMPS surface technology. The test results of simulation and experiment show that the maximum rotation angle of the micromirror is 0.62 degrees, the response time and the 1.191kHz 494 s operating bandwidth, application requirements for general beam scanning.

【作者單位】： 成都信息工程大學(xué)通信工程學(xué)院;中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11403029) 中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會資助項(xiàng)目(2014346) 四川省科技創(chuàng)新苗子工程資助項(xiàng)目(2015064) 成都信息工程大學(xué)科研基金項(xiàng)目(J201505)
【分類號】：TH-39
【正文快照】： [　　微鏡是微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)1-2]技術(shù)的重要器件之一,可用于投影顯示[3-4]、光束掃描[5-6]、自適應(yīng)光學(xué)[7-8]等領(lǐng)域。微鏡通過繞單軸或者雙軸旋轉(zhuǎn),可對反射光的方向進(jìn)行調(diào)制。微鏡的主要性能指標(biāo),如旋轉(zhuǎn)角、響應(yīng)速度等,主要由其加工工藝來決定。當(dāng)前由于高單元密度、小尺

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本文編號：1368838