超光滑表面的積分散射測量儀器研究
本文關(guān)鍵詞:超光滑表面的積分散射測量儀器研究 出處:《南京理工大學(xué)》2016年碩士論文 論文類型:學(xué)位論文
更多相關(guān)文章: 陀螺儀超光滑表面 散射測量 雙光路調(diào)制 雜散光分析 掃描測試
【摘要】:激光陀螺反射鏡基片的表面質(zhì)量,影響著激光陀螺的閉鎖閾值,決定了激光陀螺的精度。隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大,人工檢測方法暴露出隨機(jī)性大、效率低等問題,研制出針對激光陀螺反射鏡表面缺陷的快速檢測、定位儀器很有必要。論文根據(jù)積分散射測量原理對超光滑反射鏡基片表面缺陷檢測進(jìn)行了原理實(shí)驗(yàn),對實(shí)驗(yàn)中出現(xiàn)的光源功率波動、雜散光干擾和散射光方向性等關(guān)鍵問題進(jìn)行了研究,對工程化樣機(jī)中的關(guān)鍵部件根據(jù)研究結(jié)果進(jìn)行了軟硬件的重新設(shè)計(jì),并完成了樣機(jī)的裝調(diào)和初步測試。為解決光源功率波動的影響問題,研究了光源的穩(wěn)定性和不同導(dǎo)光方式的優(yōu)缺點(diǎn),設(shè)計(jì)了專用斬波器,完成了儀器導(dǎo)光光路設(shè)計(jì)。為解決雜散光對測試的干擾問題,利用FRED軟件對測試光路進(jìn)行了建模分析,研究了不同入射位置下樣品的雜散光表現(xiàn),設(shè)計(jì)了共焦聚焦鏡組,通過仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了鏡組雜散光屏蔽的有效性,光路雜散光系數(shù)優(yōu)于0.01。為解決散射光的方向性及缺陷定位需求問題,研究分析了不同組合方案和掃描流程的優(yōu)劣,優(yōu)化了多角度掃描測試的測試方案,提高了測試效率。為解決旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)變化問題,建模分析了旋轉(zhuǎn)后目標(biāo)點(diǎn)與數(shù)據(jù)點(diǎn)測試數(shù)據(jù)的關(guān)系性,設(shè)計(jì)了旋轉(zhuǎn)后坐標(biāo)對齊算法,并開發(fā)了儀器專用測試軟件。最后對儀器進(jìn)行了組裝調(diào)試,并完成了對樣品的測試實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明儀器檢測結(jié)果與人工檢測結(jié)果一致,測試數(shù)據(jù)重復(fù)性優(yōu)于6%,達(dá)到了儀器的設(shè)計(jì)目標(biāo)。
[Abstract]:The surface quality of laser gyro mirror substrate affects the locking threshold of laser gyro, and determines the precision of laser gyro. With the expansion of production scale, the problems of large randomness and low efficiency are exposed by manual detection method. In order to detect the surface defect of laser gyro mirror, it is very necessary to develop a positioning instrument. Based on the principle of integrated scattering measurement, the principle of surface defect detection of super-smooth reflector is tested in this paper. The key problems such as the power fluctuation of the light source, the stray light interference and the direction of the scattering light are studied. The key components in the engineering prototype are redesigned according to the results of the research. In order to solve the problem of power fluctuation of light source, the stability of light source and the advantages and disadvantages of different light guide modes are studied, and a special chopper is designed. In order to solve the interference problem of stray light to the test, the test light path was modeled and analyzed by FRED software, and the stray light performance of samples at different incident positions was studied. A confocal focusing mirror set is designed and the effectiveness of the stray light shielding is verified by simulation experiments. The stray light coefficient of the optical path is better than 0.01.In order to solve the problem of directionality and defect location of scattered light. The advantages and disadvantages of different combination schemes and scanning flow are analyzed and the test scheme of multi-angle scanning test is optimized to improve the test efficiency. The relationship between the rotating target point and the data point test data is analyzed, the rotation coordinate alignment algorithm is designed, and a special instrument testing software is developed. Finally, the instrument is assembled and debugged. The experimental results show that the test results are consistent with the manual test results, and the repeatability of the test data is better than that of 6 samples, which achieves the design goal of the instrument.
【學(xué)位授予單位】:南京理工大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號】:TH744.5
【相似文獻(xiàn)】
相關(guān)期刊論文 前10條
1 蔣筑英;;用軟X線散射測量檢查超光滑表面[J];光學(xué)機(jī)械;1980年06期
2 王景山;姚秀蘭;;用立體電子顯微術(shù)法測超光滑表面的微小形貌[J];光學(xué)機(jī)械;1985年02期
3 任露泉,叢茜,佟金;界面粘附中非光滑表面基本特性的研究[J];農(nóng)業(yè)工程學(xué)報;1992年01期
4 龔再仲;馬文軍;;軟X射線散射法檢測超光滑表面粗糙度[J];光學(xué)機(jī)械;1991年01期
5 孫久榮;戴振東;;非光滑表面仿生學(xué)(Ⅰ)[J];自然科學(xué)進(jìn)展;2008年03期
6 黃曉鴻;;用立體電子顯微術(shù)測量超光滑表面粗糙度[J];應(yīng)用光學(xué);1983年05期
7 ;用視頻為基礎(chǔ)的技術(shù)識別光滑表面[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1997年03期
8 單宏宇;周宏;孫娜;佟鑫;任露泉;;仿生非光滑表面材料與鋁合金制件間的減黏[J];吉林大學(xué)學(xué)報(工學(xué)版);2008年02期
9 劉先蘭;屠家貴;金p明;;仿生非光滑表面技術(shù)在機(jī)械工程中的應(yīng)用[J];新技術(shù)新工藝;2012年05期
10 陳天明,孫榮明;超光滑表面的微分散射測量[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;1995年02期
相關(guān)會議論文 前7條
1 伍藝龍;田園;劉衛(wèi)國;杭凌俠;;等離子體超光滑表面加工過程中的發(fā)射光譜研究[A];2010年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會議摘要集[C];2010年
2 趙栩欣;歐忠文;莫金川;陳寒斌;許春霞;;超光滑表面加工技術(shù)進(jìn)展評述[A];2011中國功能材料科技與產(chǎn)業(yè)高層論壇論文集(第三卷)[C];2011年
3 任露泉;王淑杰;韓志武;邱兆美;;植物孢粉壁非光滑表面結(jié)構(gòu)特征及其仿生脫附機(jī)理[A];中國農(nóng)業(yè)機(jī)械學(xué)會成立40周年慶典暨2003年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2003年
4 周長海;任露泉;張銳;叢茜;;信鴿羽毛非光滑表面形態(tài)學(xué)分析[A];農(nóng)業(yè)機(jī)械化與全面建設(shè)小康社會——中國農(nóng)業(yè)機(jī)械學(xué)會成立40周年慶典暨2003年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2003年
5 周長海;任露泉;張銳;叢茜;;信鴿羽毛非光滑表面形態(tài)學(xué)分析[A];中國農(nóng)業(yè)機(jī)械學(xué)會成立40周年慶典暨2003年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2003年
6 胡曉陽;劉民才;王健;;大口徑超光滑表面加工工藝[A];中國工程物理研究院科技年報(2000)[C];2000年
7 崔占榮;李建橋;李因武;;45鋼凹坑形表面與土壤摩擦阻力的試驗(yàn)研究[A];農(nóng)業(yè)機(jī)械化與新農(nóng)村建設(shè)——中國農(nóng)業(yè)機(jī)械學(xué)會2006年學(xué)術(shù)年會論文集(上冊)[C];2006年
相關(guān)重要報紙文章 前1條
1 本報記者 劉洪宇;動物不粘土的秘密[N];遼寧日報;2011年
相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條
1 王淑杰;典型生物非光滑表面形態(tài)特征及其脫附功能特性研究[D];吉林大學(xué);2006年
2 陶敏;凹坑形仿生非光滑表面減阻和遺傳優(yōu)化研究[D];吉林大學(xué);2007年
3 陳莉;激光仿生非光滑表面熱作模具的磨料磨損性能研究[D];吉林大學(xué);2007年
4 張成春;旋成體仿生非光滑表面流場控制減阻研究[D];吉林大學(xué);2007年
5 宋娟娟;非光滑表面湍流減阻及流動控制研究[D];中國科學(xué)院研究生院(工程熱物理研究所);2012年
6 田麗梅;空氣—旋成鈍體界面非光滑減阻的仿生研究[D];吉林大學(xué);2005年
7 張富;彈性約束游離磨料超光滑表面加工技術(shù)的研究[D];吉林大學(xué);2007年
相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條
1 范冬路;高壓海水軸向柱塞泵配流盤摩擦副仿生非光滑表面研究[D];燕山大學(xué);2015年
2 代東順;非光滑表面流動減阻特性在離心泵上的應(yīng)用研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2015年
3 張占輝;仿生非光滑形態(tài)對摩擦磨損的影響機(jī)理研究[D];太原科技大學(xué);2015年
4 沈磊;超光滑表面的積分散射測量儀器研究[D];南京理工大學(xué);2016年
5 王磊;仿生非光滑表面鑄鐵材料摩擦磨損性能的研究[D];吉林大學(xué);2006年
6 田偉;激光仿生耦合非光滑表面模具與制件粘附機(jī)理的研究[D];吉林大學(xué);2008年
7 趙繼妮;仿生非光滑表面旋成體減阻性能分析[D];吉林大學(xué);2005年
8 封云;仿生非光滑表面湍流場的數(shù)值模擬及減阻機(jī)理分析[D];吉林大學(xué);2005年
9 王松偉;高精度角度光學(xué)元件超光滑表面的加工和檢測技術(shù)研究[D];西北大學(xué);2008年
10 隋燃;高壓海水軸向柱塞泵滑靴副仿生非光滑表面潤滑特性研究[D];燕山大學(xué);2015年
,本文編號:1384565
本文鏈接:http://www.wukwdryxk.cn/kejilunwen/yiqiyibiao/1384565.html