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  本文關(guān)鍵詞：MEMS加速度計(jì)可靠性評(píng)價(jià)技術(shù)　出處：《微納電子技術(shù)》2014年03期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：MEMS加速度計(jì)是動(dòng)作識(shí)別設(shè)備、姿態(tài)控制設(shè)備等電子設(shè)備的核心器件,其功能失效會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備的可靠性。而目前國內(nèi)外還沒有MEMS器件的可靠性實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),這在一定程度上制約了MEMS加速度計(jì)的應(yīng)用與發(fā)展。針對(duì)該現(xiàn)狀,深入研究了MEMS加速度計(jì)敏感部件的失效模式及失效機(jī)理,得到了典型環(huán)境應(yīng)力與器件失效的關(guān)系,分析了加載環(huán)境應(yīng)力可能導(dǎo)致器件失效的環(huán)境實(shí)驗(yàn),并選取了相應(yīng)的MEMS加速度計(jì)產(chǎn)品進(jìn)行了可靠性實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,得出了MEMS加速度計(jì)可靠性評(píng)價(jià)的初步試行方案。
[Abstract]:MEMS accelerometer is the core device of electronic devices such as motion recognition equipment, attitude control device and so on. The failure of its function will seriously affect the reliability of the equipment, but at present there is no reliability test standard for MEMS devices at home and abroad. This restricts the application and development of MEMS accelerometers to some extent. In view of this situation, the failure mode and failure mechanism of sensitive components of MEMS accelerometers are deeply studied. The relationship between the typical environmental stress and the device failure is obtained, and the environmental experiment that the loading environmental stress may lead to the device failure is analyzed, and the reliability of the corresponding MEMS accelerometer product is verified. The preliminary trial scheme for reliability evaluation of MEMS accelerometer is obtained.
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 0引言MEMS加速度計(jì)是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域研究最早的器件之一,也是最早應(yīng)用的微機(jī)電器件。該類器件廣泛應(yīng)用于加速度計(jì)算、振動(dòng)檢測(cè)、動(dòng)作識(shí)別、姿態(tài)控制、安防報(bào)警、消費(fèi)應(yīng)用和狀態(tài)記錄等領(lǐng)域。隨著MEMS加速度計(jì)在我國諸多領(lǐng)域的逐步8912014年3月微納電子技術(shù)第51卷第3期應(yīng)

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1384931