本文關(guān)鍵詞：納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評定，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

聲 明 本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下， 獨立進行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文 不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本文的研究 做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的 法律責(zé)任由本人承擔(dān)。 論文秸者簽名．．塑堊壘 日期：絲笪：!笸：!呈 關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說明 本人完全了解太原理工大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其 中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印 件；②學(xué)校可以采用影印、縮印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)位論文； ③學(xué)校可允許學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)校可以學(xué)術(shù)交流為目的， 復(fù)制贈送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)�？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi) 容 保密學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定 。 簽 名：塑至生 日期：墊墮：!』：!星 導(dǎo)師簽名：進旦墊期：絲!』：!』：!望 萬方數(shù)據(jù) 太原理工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文 納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評定 摘要 納米壓痕力學(xué)測量技術(shù)具有操作靈活簡單、測量分辨力高、對樣品無 損或微損等優(yōu)點，廣泛用于金屬、微機電系統(tǒng)、復(fù)合材料、生物材料、薄 膜涂層等材料力學(xué)性能的測試。商用的納米壓痕儀的位移和載荷傳感器都 存在測量誤差，壓頭面積函數(shù)和理論模型也會有所偏差，這些誤差都會導(dǎo) 致測量準(zhǔn)確度的下降，，因此需要對商用的納米壓痕儀進行校準(zhǔn)。 本文在位移因子已經(jīng)完成校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，對納米壓痕儀的壓頭面積函 數(shù)和載荷因子進行了校準(zhǔn)，并對納米壓痕力學(xué)測量系統(tǒng)的硬度和折合模量 的測量不確定度進行了評定。主要研究工作及結(jié)果如下： 1．玻式壓頭面積函數(shù)

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