本文關(guān)鍵詞：納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評(píng)定，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

聲 明 本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下， 獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文 不包含其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對(duì)本文的研究 做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的 法律責(zé)任由本人承擔(dān)。 論文秸者簽名．．塑堊壘 日期：絲笪：!笸：!呈 關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說明 本人完全了解太原理工大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其 中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印 件；②學(xué)�？梢圆捎糜坝�、縮印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)位論文； ③學(xué)校可允許學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)校可以學(xué)術(shù)交流為目的， 復(fù)制贈(zèng)送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)�？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi) 容 保密學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定 。 簽 名：塑至生 日期：墊墮：!』：!星 導(dǎo)師簽名：進(jìn)旦墊期：絲!』：!』：!望 萬方數(shù)據(jù) 太原理工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文 納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評(píng)定 摘要 納米壓痕力學(xué)測(cè)量技術(shù)具有操作靈活簡(jiǎn)單、測(cè)量分辨力高、對(duì)樣品無 損或微損等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于金屬、微機(jī)電系統(tǒng)、復(fù)合材料、生物材料、薄 膜涂層等材料力學(xué)性能的測(cè)試。商用的納米壓痕儀的位移和載荷傳感器都 存在測(cè)量誤差，壓頭面積函數(shù)和理論模型也會(huì)有所偏差，這些誤差都會(huì)導(dǎo) 致測(cè)量準(zhǔn)確度的下降，因此需要對(duì)商用的納米壓痕儀進(jìn)行校準(zhǔn)。 本文在位移因子已經(jīng)完成校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，對(duì)納米壓痕儀的壓頭面積函 數(shù)和載荷因子進(jìn)行了校準(zhǔn)，并對(duì)納米壓痕力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的硬度和折合模量 的測(cè)量不確定度進(jìn)行了評(píng)定。主要研究工作及結(jié)果如下： 1．玻式壓頭面積函數(shù)

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