納米壓痕儀的校準及不確定度評定.pdf
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不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本文的研究
做出重要貢獻的個人和集體,均已在文中以明確方式標明。本聲明的
法律責任由本人承擔。 論文秸者簽名..塑堊壘 日期:絲笪:!笸:!呈 關于學位論文使用權的說明 本人完全了解太原理工大學有關保管、使用學位論文的規(guī)定,其 中包括:①學校有權保管、并向有關部門送交學位論文的原件與復印
件;②學?梢圆捎糜坝、縮印或其它復制手段復制并保存學位論文;
③學?稍试S學位論文被查閱或借閱;④學校可以學術交流為目的,
復制贈送和交換學位論文;⑤學?梢怨紝W位論文的全部或部分內
容 保密學位論文在解密后遵守此規(guī)定 。 簽 名:塑至生 日期:墊墮:!』:!星 導師簽名:進旦墊期:絲!』:!』:!望 萬方數(shù)據(jù) 太原理工大學碩士研究生學位論文 納米壓痕儀的校準及不確定度評定 摘要 納米壓痕力學測量技術具有操作靈活簡單、測量分辨力高、對樣品無 損或微損等優(yōu)點,廣泛用于金屬、微機電系統(tǒng)、復合材料、生物材料、薄 膜涂層等材料力學性能的測試。商用的納米壓痕儀的位移和載荷傳感器都 存在測量誤差,壓頭面積函數(shù)和理論模型也會有所偏差,這些誤差都會導 致測量準確度的下降,因此需要對商用的納米壓痕儀進行校準。 本文在位移因子已經(jīng)完成校準的基礎上,對納米壓痕儀的壓頭面積函 數(shù)和載荷因子進行了校準,并對納米壓痕力學測量系統(tǒng)的硬度和折合模量 的測量不確定度進行了評定。主要研究工作及結果如下: 1.玻式壓頭面積函數(shù)
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本文編號:227546
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