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TFT-LCD光刻工藝有機(jī)物危害分析及控制措施研究

發(fā)布時(shí)間:2018-12-20 10:01
【摘要】:依據(jù)中國(guó)青年報(bào)社會(huì)調(diào)查中心對(duì)2062人進(jìn)行的“2015年最想購買的東西”調(diào)查顯示,想購買電子產(chǎn)品的受訪者占比為41.4%,購買電子產(chǎn)品已成為現(xiàn)代社會(huì)人們的剛性需求,電子產(chǎn)品及其相關(guān)服務(wù)正在成為新的消費(fèi)增長(zhǎng)點(diǎn)。目前,我國(guó)是世界上第一大電子產(chǎn)品消費(fèi)國(guó),同時(shí)也是世界電子產(chǎn)品的制造大國(guó),進(jìn)入21世紀(jì)以來,我國(guó)在電子制造相關(guān)行業(yè)取得了一系列重大技術(shù)突破,成為全球最大的電子產(chǎn)品制造基地。在薄膜晶體管液晶顯示器件(TFT-LCD)制造行業(yè)中,隨著新工廠的不斷開工建設(shè)和已建工廠生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行,行業(yè)內(nèi)開始暴露出諸多新的安全和職業(yè)健康問題。其中,尤為突出的是光刻工藝中大量使用的有機(jī)物異味問題,這些有機(jī)物極易揮發(fā),嗅閾值極低,且主要成分在相應(yīng)的職業(yè)衛(wèi)生國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中沒有規(guī)定接觸限值,甚至沒有國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的檢測(cè)方法。多種有機(jī)物混合揮發(fā)難以界定聯(lián)合危害效應(yīng),這使得不少員工開始擔(dān)憂這些有機(jī)物對(duì)自身的健康影響,同時(shí)也為行業(yè)內(nèi)的職業(yè)健康安全管理人員甚至是工廠領(lǐng)導(dǎo)帶來了不少的困擾和壓力。本文通過對(duì)國(guó)內(nèi)某薄膜晶體管液晶顯示器件(TFT-LCD)制造企業(yè)的有機(jī)物暴露較為嚴(yán)重的工藝段進(jìn)行分析,評(píng)估這些有機(jī)物的成分,對(duì)其危害來源、危害性質(zhì)進(jìn)行分析;通過檢測(cè)方法確定有機(jī)物暴露的重點(diǎn)分布區(qū)域,找到重點(diǎn)管控設(shè)備;結(jié)合潔凈車間通風(fēng)的特殊性、工藝流程聯(lián)通的特點(diǎn),對(duì)工藝中有機(jī)物異味產(chǎn)生源進(jìn)行綜合評(píng)估;通過其擴(kuò)散情況制定控制措施,實(shí)現(xiàn)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)改善的目標(biāo)。
[Abstract]:According to a survey of 2062 people by the China Youth Daily Social Survey Center, "what you want to buy the most in 2015" shows that 41.4 percent of the respondents want to buy electronic products. Buying electronic products has become a rigid demand in modern society, according to a survey of 2062 people by the China Youth Daily Social Survey Center. Electronic products and related services are becoming a new consumer growth point. At present, China is the largest consumer of electronic products in the world, and it is also a major manufacturing country of electronic products in the world. Since the beginning of the 21st century, China has made a series of major technological breakthroughs in electronic manufacturing related industries. Become the world's largest electronics manufacturing base. In the thin-film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) manufacturing industry, with the continuous construction of new factories and the steady operation of the existing factories, many new safety and occupational health problems have been exposed in the industry. Among them, the problem of odor of organic compounds used in photolithography is particularly prominent. These organic compounds are volatile easily, the threshold of smell is very low, and the main components do not have a limit of exposure in the corresponding national standards of occupational hygiene. There is even no national standard for testing. Mixed volatilization of multiple organic compounds is difficult to define the combined hazard effect, which makes many employees begin to worry about the health effects of these organic compounds. At the same time, occupational health and safety managers in the industry and even factory leaders have brought a lot of trouble and pressure. In this paper, through the analysis of the serious exposure process of organic matter in a thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) manufacturing enterprise in China, the composition of these organic compounds is evaluated, and the hazard source and hazard properties are analyzed. Through the detection method to determine the key distribution area of organic matter exposure, to find out the key control equipment, combined with the particularity of ventilation in clean workshop and the characteristics of technological process connection, to comprehensively evaluate the organic matter odour producing source in the process. Make control measures through its diffusion situation to achieve the goal of site improvement.
【學(xué)位授予單位】:首都經(jīng)濟(jì)貿(mào)易大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類號(hào)】:TN873.93

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本文編號(hào):2387832

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