發(fā)布時間：2024-01-27 03:34

　　隨著現代先進光學技術的發(fā)展,光學元件的需求量日益遞增,各種超精密光學元件被廣泛應用于不同種類的光電系統(tǒng)中,同時對相關光學元件的加工面形精度、口徑范圍、面型復雜程度也提出了更高的要求。目前的光學研拋加工技術如計算機控制光學表面成型技術、應力盤拋光技術、氣囊拋光技術、磁流變拋光技術、離子束拋光技術等已成為現代先進光學研制技術中主流的光學加工方法,而這些研拋技術在加工效率、加工成本、以及拋光頭對工件口徑和面形的加工適用性等方面都存在或多或少的缺陷。盡管工業(yè)機器人加工方式價格低,其自由度高,加工口徑范圍廣,但因其剛度偏低,研拋壓力及其去除函數的穩(wěn)定性不易控制,故而往往被應用于對加工精度要求不高的模具等拋光當中,難以對精度要求較高的光學元件實現自動研拋加工。為此,本文在深入研究了機器人柔性研拋加工的材料去除機理的基礎上,設計了一款研拋壓力主動可控、材料去除效率高,研拋效果好的工業(yè)機器人柔性研拋加工工具,具備研拋壓力精度高,響應快,去除函數穩(wěn)定性較強的特點。并通過開展研拋加工工藝實驗,為該機器人柔性研拋加工技術投入到實際的光學加工領域奠定了技術基礎。本文主要的研究內容如下:(1)通過對機器人柔性研...

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【學位級別】：碩士

圖1-1大型天文望遠鏡

圖1-2CCOS加工設備

圖1-3SLP設備

圖1-4氣囊拋光

本文編號：3886226