ZnO-SAW傳感器的制備及其在甲醛檢測(cè)中的應(yīng)用研究
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【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
圖1-1室內(nèi)空氣中甲醛的主要來(lái)源4)日常用品
西南交通大學(xué)博士研究生學(xué)位論文最長(zhǎng)可達(dá)幾十年。據(jù)檢測(cè),表面積為100cm2的膠。若室內(nèi)使用了刨花板覆蓋的地板,則甲醛濃度可最主要來(lái)源。釋放甲醛,人們?cè)谘b修時(shí)用到的油漆、涂料、化纖甲醛,一般為3.35mg/m3,最高可達(dá)13.4mg/m3。要來(lái)源。有一定量的甲醛,每支香煙煙....
圖1-2電導(dǎo)率傳感器示意圖
增加[30]。隨著溫度持續(xù)升高,化學(xué)進(jìn)程如下[31]:2(g)2(ads)OO2(ads)2(ads)OeO2()()2adsadsOeO2(ads)(ads)OeO空氣中含有甲醛時(shí),甲醛分子將與薄膜表面的氧離子結(jié)合,....
圖1-3微-氣體傳感器示意圖
Wang等[45]通過(guò)將Pt電極設(shè)計(jì)在SiO2/Si基底上,研發(fā)了一結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖1-3,并將1mol%Pb-摻雜SiO2薄膜合成在電極表面。傳感器對(duì)0.03ppm甲醛的反應(yīng)值為1.02,對(duì)0.05ppm甲醛的反0s,但這種薄膜對(duì)乙醇更加敏感。2013年,T....
圖1-4MEMS傳感器示意圖
圖1-4MEMS傳感器示意圖[55]表1-6NiO薄膜對(duì)甲醛的敏感性感器實(shí)驗(yàn)溫度/℃反應(yīng)值(/ppm)反應(yīng)時(shí)間(s/ppm)恢復(fù)時(shí)間(s/ppm)導(dǎo)率6000.825mV/ppm----導(dǎo)率2800.14Ω/ppm13/1.0-8.0--導(dǎo)率280....
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