發(fā)布時(shí)間：2018-06-25 22:06

  本文選題：磁控濺射 + Ti-N薄膜��； 參考：《表面技術(shù)》2017年06期

【摘要】：目的研究Ti-N薄膜顏色和硬度及其結(jié)合強(qiáng)度的影響因素。方法利用封閉磁場(chǎng)非平衡磁控濺射離子鍍膜技術(shù),該變?yōu)R射偏壓、氮?dú)饬髁康葏��?shù),分別在304不銹鋼基體和載玻片基體上沉積多彩Ti-N薄膜。用努氏硬度、劃痕法和球坑法分別評(píng)價(jià)Ti-N薄膜的顯微硬度和結(jié)合強(qiáng)度等性能。結(jié)果當(dāng)偏壓和濺射電流分別為-60 V和2 A時(shí),將反應(yīng)氣體氮?dú)饬髁繌?sccm逐漸增加到20sccm,Ti-N薄膜顏色依次發(fā)生從"淡黃-金黃-紅黃-紫紅-金黃"的循環(huán)變化趨勢(shì)。薄膜的硬度隨氮?dú)饬髁康脑黾釉?01~700HK之間呈逐步上升的趨勢(shì)。膜基結(jié)合普遍較好。當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁亢蜑R射電流分別為10sccm和2 A時(shí),將負(fù)偏壓從-50 V逐漸增加到-120 V,薄膜顏色從淡黃色變成金黃色,膜基結(jié)合強(qiáng)度較好。硬度隨偏壓的增加變化不明顯。結(jié)論影響Ti-N薄膜顏色的主要因素為氮?dú)饬髁?偏壓也可以輕微地改變薄膜顏色,但對(duì)薄膜性能影響并不明顯。
[Abstract]:Objective to study the influence factors on the color, hardness and bonding strength of Ti-N thin films. Methods using the closed magnetic field unbalanced magnetron sputtering ion plating technique, the colorful Ti-N thin films were deposited on 304 stainless steel substrates and on glass substrates with the parameters of variable sputtering bias voltage and nitrogen flow rate, respectively. The microhardness and bonding strength of Ti-N films were evaluated by Knoop hardness scratch method and ball pit method respectively. Results when the bias voltage and sputtering current were -60 V and 2 A, the flow rate of reactive gas nitrogen gradually increased from 3sccm to 20SC cm ~ (-1) Ti-N film color, which occurred in turn from "light yellow, golden yellow, red yellow, purple red to golden yellow". The hardness of the film increases gradually with the increase of nitrogen flow rate in the range of 601 ~ 700HK. The membrane binding is generally good. When the nitrogen flow rate and sputtering current are 10sccm and 2 A, the negative bias voltage is gradually increased from -50 V to -120 V, and the film color changes from light yellow to golden color, and the bonding strength of the film is better. The hardness does not change obviously with the increase of bias voltage. Conclusion the main factor affecting the color of Ti-N thin film is nitrogen flow rate and bias voltage can change the color of the film slightly, but the effect on the film properties is not obvious.
【作者單位】： 寧波工程學(xué)院材料與化學(xué)工程學(xué)院;
【基金】：浙江省大學(xué)生科技創(chuàng)新活動(dòng)計(jì)劃(新苗人才計(jì)劃)項(xiàng)目(2014R422012)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2

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本文編號(hào)：2067694