發(fā)布時(shí)間：2018-09-17 10:51

【摘要】：浸沒(méi)式光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)包含水處理系統(tǒng)(Pure Water System,PWS)、注液系統(tǒng)(Horizontal Compensation Water System,HCWS)、注氣系統(tǒng)(Compensation Air System,CAS)、氣液回收單元(Horizontal Air Water Extraction,HAWE)、溫控模塊(Temperature Control Moduel,TCM)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)等各分系統(tǒng),分別涉及氣液純化、流體、溫控等多個(gè)領(lǐng)域,運(yùn)行時(shí)序復(fù)雜,控制流程差異大,本文涉及的總控通訊模塊(Main Control Moduel,MCM)負(fù)責(zé)各系統(tǒng)的協(xié)調(diào)控制,實(shí)現(xiàn)參量監(jiān)測(cè)與設(shè)定,接口通訊,邏輯控制,數(shù)據(jù)存儲(chǔ),人機(jī)交互等功能。本文旨在對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸沒(méi)系統(tǒng)控制模塊在領(lǐng)域?qū)＜液蛙浖�程序員之間建立一套領(lǐng)域特定語(yǔ)言(Domain Specific Language,DSL),以便浸沒(méi)系統(tǒng)中流體、氣液純化、溫控領(lǐng)域?qū)＜遗c總控軟件人員的溝通與流程設(shè)計(jì)。針對(duì)當(dāng)前浸沒(méi)系統(tǒng)總控與各分系統(tǒng)間的邏輯控制及自動(dòng)化要求,開(kāi)展如下工作。1.介紹課題研究背景,分析浸沒(méi)分系統(tǒng)組成及基本原理,闡述MCM總控通訊系統(tǒng)整體方案,提出課題研究?jī)?nèi)容。2.設(shè)計(jì)MCM總控通訊系統(tǒng)硬件平臺(tái),搭建邏輯架構(gòu),對(duì)關(guān)鍵元器件選型分析,完成模型設(shè)計(jì)與實(shí)物組裝。3.基于DSL進(jìn)行MCM控制系統(tǒng)軟件分析并進(jìn)行設(shè)計(jì),包括浸沒(méi)系統(tǒng)中各系統(tǒng)執(zhí)行過(guò)程,狀態(tài)切換,事件觸發(fā),系統(tǒng)數(shù)據(jù)等內(nèi)容。采用服務(wù)器/客戶端一體化方案,明確通訊機(jī)制的實(shí)現(xiàn)方式。4.基于DSL狀態(tài)控制語(yǔ)言設(shè)計(jì),包括數(shù)據(jù)交互的XML和浸沒(méi)式光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)控制流程專用DSL。建立適用的邏輯控制及系統(tǒng)數(shù)據(jù)DSL文本,通過(guò)相應(yīng)詞法及語(yǔ)法規(guī)則分析,生成抽象語(yǔ)法樹(shù),并組裝語(yǔ)義模型,供目標(biāo)操作及代碼生成。5.測(cè)試系統(tǒng)功能,實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)系統(tǒng)協(xié)調(diào)控制各項(xiàng)功能,驗(yàn)證數(shù)據(jù)交互XML與邏輯控制DSL的有效性。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號(hào)】：TN405

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2245618