發(fā)布時間：2019-05-08 15:56

【摘要】：本文研制了一種光纖耦合濕敏監(jiān)測裝置,此裝置采用MEMS微位移傳感器來進行濕敏微腔耦合位置的輔助校準,再用光強傳感器對耦合輸出的光波進行濕度感測和量化。這種基于MEMS位移傳感器的耦合位置校準方法與現(xiàn)有的校準平臺相比,無需外加太多繁瑣、龐大的儀器裝置,就可獲得精準又便捷的校準效果。另外在傳感系統(tǒng)后端可進行可編程控制程序開發(fā),用加載的數(shù)據(jù)采集卡來實現(xiàn)濕度敏感單元敏感量的采集與顯示。
[Abstract]:......
【作者單位】： 上海電子信息職業(yè)技術(shù)學院;
【基金】：2015-2018上海市教育委員會科研創(chuàng)新項目(15ZZ113)
【分類號】：TN253;TP212

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本文編號：2472034