發(fā)布時(shí)間：2020-12-11 23:39

　　硅片分離過程中需頂針將其頂起直至脫離基座,方便機(jī)械手抓取硅片。頂針加工質(zhì)量的優(yōu)良對(duì)硅片分離過程影響很大。針對(duì)硅片頂針磨削成型問題,設(shè)計(jì)了一臺(tái)三軸聯(lián)動(dòng)硅片頂針磨床。首先分析了硅片頂針加工技術(shù)要求,擬定了頂針加工工藝,設(shè)計(jì)了磨床機(jī)械結(jié)構(gòu)本體;之后,規(guī)劃了磨床磨削控制系統(tǒng)功能,并采用"PC+運(yùn)動(dòng)控制卡"的方式開發(fā)了相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)控制模塊、參數(shù)設(shè)置模塊、文件管理模塊,視覺檢測(cè)模塊等;最后,通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了磨床設(shè)計(jì)的合理性和可靠性。 

【文章來源】：組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù). 2020年10期 第144-147頁 北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

頂針加工檢測(cè)

硅片頂針工藝圖

首先對(duì)頂針錐度進(jìn)行加工。圖2為加工錐度示意圖,其過程是將棒料貼近砂輪,以待加工棒料與砂輪端面夾角為5°的位置為起始位置,進(jìn)行X、Y軸進(jìn)給即可完成錐度磨削加工。進(jìn)給方式、進(jìn)給順序和進(jìn)給量依次為y1,x,-x;y2,x,-x; ……yn ,x,-x。其中Y軸進(jìn)給次數(shù)n與單次進(jìn)給量yn,可由實(shí)驗(yàn)調(diào)試具體確定,通過實(shí)驗(yàn)調(diào)試,不斷改變進(jìn)給量或進(jìn)給次數(shù),找到磨削效果最好、磨削時(shí)間最短的最優(yōu)進(jìn)給方案,實(shí)現(xiàn)頂針錐度的加工。1.2.2 減小90°切削余量工藝


本文編號(hào)：2911433